半导体行业

适用工艺：长晶 · 一般排气 · 中央清扫等

一般的机械加工是不需要洁净室的，因为加工分辨率在数十微米以上，远比日常环境的微尘颗粒为大。但进入半导体组件或微细加工的世界，空间单位都是以微米计算，因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。为此，所有半导体制成设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，其对粉尘的控制严格程度不亚于医药行业。洁净间只能保证生产空间无外部污染，生产工艺过程中产生的粉尘还是需要专业的除尘设备来控制及收集。

达肯拥有多年在这些高标准洁净室内配套工业级集尘系统的经验，包括中央式集尘系统解决方案，紧凑型集尘系统解决方案、移动式集尘单机解决方案以及防抗静电、防爆除尘系统解决方案。我们的集尘系统基于已验证的技术，包括粉尘源头收集在内的设计，均可完全根据客户的要求定制。